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AFXS直線電機(jī)平臺(tái)
直線電機(jī)平臺(tái)用于晶圓、藍(lán)寶石等檢測(cè),由Akribis高性能無(wú)鐵芯直線電機(jī)驅(qū)動(dòng);XY軸采用交叉滾柱導(dǎo)軌,中空結(jié)構(gòu),內(nèi)置光柵系統(tǒng)。分辨率50nm,重復(fù)定位精度可達(dá)士0.75um,絕對(duì)定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。
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產(chǎn)品詳情
AFXS
直線電機(jī)平臺(tái)
:參數(shù)
X軸
Y軸
行程
70mm
70mm
分辨率
50nm
50nm
定位精度
±2μm
±2μm
重復(fù)度
±0.75 μm
±0.75 μm
平面度
±3.5 μm
直線度
±3.5 μm
最大速度
200 mm/s
建議負(fù)載重量
< 1 Kg
中空尺寸
90 * 110 mm
XY軸正交度
10 arc sec
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